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库卡 develops mobile manipulator 机器人 for cleanroom chip handling

通过 机器人报告Staff | 2019年8月23日

库卡 develops mobile 机器人 manipulator for chip handling

库卡’s wafer-handling system includes an AMR, an iiwa cobot, and software. Source: 库卡

为了生产在电话,车辆和机器人中提供智能的半导体,需要以晶圆形式处理硅。这些晶片在无尘室条件下存储在塑料盒中,制造过程需要很多步骤。由于预计计算机芯片需求将增加,因此制造商已经在研究进一步实现生产自动化的方法。作为回应,库卡公司开发了所谓的“the world’单一来源的第一个解决方案” for wafer handling.

总部位于德国奥格斯堡的KUKA上周表示,已开发出一种晶片处理系统,用于半导体盒的自动转移和处理。的 移动操纵 应用程序由标准化的自动导引车(货车)和经过服务验证的 LBRiiwa 轻巧的机器人。

该公司还开发了完善的抓爪系统和控制软件。

库卡 offers 机器人 for cleanrooms

KMR 200 CR移动平台提供了移动性。该平台有 麦克纳姆车轮 可以进行全方位运动。平台上的传感器可实时感应环境,从而避免碰撞。

的 人机协作 平台上安装了功能强大的LBR iiwa。的敏感性 机器人 使它能够安全且无振动地处理精密的晶圆盒。

该应用程序的第三部分是定制的夹持器系统,该系统已获得KUKA的专利。

库卡 mobile manipulator

的 cleanroom application is designed to safely automate wafer handling. Source: 库卡

软件控制移动机器人车队

用于晶圆处理的洁净室应用程序的硬件和软件均来自KUKA。晶圆处理软件解决方案与半导体制造执行系统(MES)无缝融合 厂商,该公司表示。

集成到软件中的车队管理器控制转移订单,以确保实现最佳的自动化半导体生产。所有解决方案均来自单一来源,并经过认证。这导致极短的调试时间,使该系统成为市场上最灵活的装卸系统。 库卡.


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